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ApexR3p |
ApexR5p |
ApexR02p |
ApexR03p |
ApexR05p |
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| 最小測定粒子サイズ |
0.3μm |
0.5μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
| 標準測定粒子サイズチャンネル |
0.3/0.5μm(2ch) |
0.5/5.0μm(2ch) |
0.2/0.3μm(2ch) |
0.3/0.5μm(2ch) |
0.5/5.0μm |
| 0.3/0.5/1.0/5.0μm(4ch) |
0.5/1.0/5.0/10μm(4ch) |
0.2/0.3/0.5/1.0μm(4ch) |
0.3/0.5/1.0/5.0μm(4ch) |
0.5/1.0/5.0/10.0μm(4ch) |
| サンプリング流量 / 吸引ノズルサイズ/ |
1.0 CFM (28.3ℓ/分)/ 3/8"インレット |
0.1 CFM (2.83ℓ/分)/ 1/8"インレット |
| 通信 |
Ethernet、またはSerial |
| Modbus Protocols |
TCP、またはRTU、またはASCII |
| 粒子濃度限界 |
百万粒子/ft³(34百万/m3)@10% の同時損失時
ISOクリーンルームクラス1-8に適合 |
4百万粒子/ft³(137百万/m3)@10% の同時損失時
ISOクリーンルームクラス1-8に適合 |
| データ記録保存数 |
3000件 |
| 自己診断機能 |
レーザー電源、レーザー電流、レーザー出力、レーザー検出器電源、背景電圧、レーザー検出器の状態診断 |
| Web Browser |
ウェブ ブラウザからリモートアクセス |
| Validation Mode |
対応 |
| アラームLED灯 |
装備 |
| 筐体 |
316L ステンレススチール |
| 電源 |
入力: DC 24V 120W |
入力:DC 24V 25W |
| 内蔵バキュームポンプ |
排気口にHEPAフィルタ付 1.0 CFM(28.3ℓ/分)ポンプ |
排気口にHEPAフィルタ付 0.1 CFM(2.83ℓ/分)ポンプ |
| レーザー光源 |
超長寿命レーザーダイオード |
| キャリブレーション(校正) |
ISO 21501-4準拠、ISO 17025認定取得 |
| Zero Count Level(偽計数) |
5分間で1カウント未満(JIS B 9921の仕様、及び ISO 21501の報告要件に合致) |
| サポートソフトウエア |
無償:LMS Xchange、LMS Expess 有償(リアルタイムモニタリング):LMS Express RT、LMS Professional |